ລະບົບພົ່ນລະເหยສูญຍາກາດ ລະບົບພົ່ນລະເหยສູญຍາກາດສູງ ເປັນເครื่องจักรที่ทำหน้าที่ฝากฟิล์มบางของโลหะและวัสดุไดอิเล็กตริกลงบนซับสเตรทที่มีขนาดใหญ่ถึง 300 มิลลิเมตร. ระบบนี้ใช้แหล่งกำเนิดการพ่นแบบแมกนีตรอนที่ขับเคลื่อนด้วยความถี่วิทยุ กระแสตรง หรือกระแสตรงแบบพัลส์ ซึ่งสามารถทำงานได้ทั้งในโหมดเดี่ยวหรือโหมดสะสมร่วม. โครงสร้างแบบโมดูลาร์ช่วยให้การติดตั้ง การขนย้าย และการบำรุงรักษาทำได้ง่ายดาย. ตัวเครื่องผลิตจากเหล็กรีดเย็นที่ผ่านการขึ้นรูปแผ่นโลหะและเคลือบผิวด้วยการพ่นสี มีโครงในทำจากอะลูมิเนียม และฝาครอบทำจากอะคริลิกสีเทาโปร่งแสง. หน้าจอควบคุมได้รับการออกแบบตามหลักการยศาสตร์ (Ergonomics).

ຊື່ໂຄງການ : Ultra High Vacuum Sputtering System, ຊື່ຂອງຜູ້ອອກແບບ : Yong Zhang, ຊື່ລູກຄ້າ : Huaiyin Institute of Technology & Liaoning Petrochemical University.